来?了！

    众人振奋！

    一组报告：“二氧化碳脉冲激光器无损，功率消耗在预估范围内，光线利用率成功达到2%！”

    二组报告：“散热系统启动！散热功能正常！”

    三组报告：“传感器反馈激光和ye滴同?步对准，激光等离子体?在预估范围内捕获！”

    四组报告……

    随着一个又?一个与仿真?预估无二的报告传入众人耳中，预示着光源系统设备实验验收圆满完成！

    众人憋着一口气没出声，就等着盛明安总结。

    盛明安不负众望，听完各组结果报告，对着扩音器宣布：“高阶光刻机光源系统技术研究项目圆满通过验收，”他稍稍提高音量，“我?们的科研项目，激光等离子体?极紫外?光刻光源是——”

    “13.5nm！”

    原本想欢呼的众人脸上刚升起的笑容陡然僵住，瞳孔逐渐放大，呼吸急促，不敢置信，纷纷以为自?己的耳朵坏了，他们出现?了幻听。

    盛明安语气里流泻出轻松的笑意：“恭喜大家。”

    见众人没反应，他回头，疑惑：“你们不满意吗？”

    林成建也懵了，小心翼翼地询问：“盛工，你刚才说?13.5nm……不是16nm？”

    同?盛明安争论了将近半个月早已震惊过的程院长好笑地环顾众人表现?不一的样子。

    雷客比林成建还小声轻柔：“比asml euv的14nm还Jing确了0.5nm？”

    杜颂捂着心脏，喃喃说?道：“不是吧……我?整天研究的就是这?么牛逼的玩意？”

    助理姑娘掐得更?狠了，但杜颂激动的灵魂和兴奋的神经可以抚平身?体?的疼痛。

    “啊，”盛明安下意识看向陈惊璆：“你们都有异议吗？”

    陈惊璆惊讶过后便是一笑：“没有异议。他们惊喜过头了。”

    盛明安又?看向林成建等人，谁知他们面面相觑，陷入沉默，一秒、两秒、三秒……“啊啊啊啊——！！！”

    猛然爆发的尖叫声继续震破实验室的天花板，要不是固化玻璃隔绝了噪声污染不会影响到实验室设备，热爱实验室设备的盛明安就该拉下脸，而负责掏钱买设备的陈惊璆应该会冷脸赶人出去了。

    但无伤大雅的此刻，他们纵容每一个团队成员尽情?放纵无以言表的兴奋和激动。

    第70章 山巍[02] 挽狂澜！

    光源系统设备验收阶段圆满完成,接下来就是高阶光刻机的组装。

    除了光源系统、双工作台系统和光学系统，余下零件所需还有更Jing确的镜头组、反射镜，以及arf光刻胶等,国内暂时还没有研发出来。

    但这都不是问题。

    因为最艰难的光源系统和双工作台系统已经被圆满攻破,剩下的arf光刻胶等技术要求很高,可相对来说，难度系数不是特别大。

    林成建也很兴奋，他勉强保持冷静,对盛明安和陈惊璆说：“光源系统设备验收通过，ic设计部正在攻破20nm以下的鳍式场效应晶体管工艺，尽量保证我们能够生?产出13.5nm工艺以上更高Jing度的芯片。”

    鳍式场效应晶体管是一种防止因高Jing度工艺而导致晶体管失去开关作用而发明的工艺，采用3d立体?晶体管架构，突破芯片晶体管的22nm工艺极限，不直接作用于光刻机，而是ic设计工程师必须掌握的一项核心技术。

    陈惊璆：“那就交给你了。”

    “放心,我会尽快解决这个技术难点。”林成建现在充满信心，又对盛明安说：“保险起见，光源系统设备最好赶紧申请专利保护。”

    盛明安：“我知道的。”

    光源系统设备虽有多人团队协作发明,但真?正突破该关键性技术的人是盛明安，所以他是申请专利的不二人选。

    程院长凝视光源系统设备,长久无言。

    直到林成建在盛明安身边提议专利申请,他才回?过神来,深深呼出胸中那口沉淀多年的郁气,心情畅快，问盛明安：“你打算申请提前毕业？”

    盛明安惊讶：“您知道？”

    “你是张教授的得意门生，他经常在外面吹嘘你，申市光机所谁不知道？”程院长一想起张群芳炫耀的嘴脸就想翻白眼,他说：“如果你想申请提前毕业，光源系统被攻破这份科研成果的确能让科大酌情考量，同意你的申请。不过同意是一方面，能不能通过考试又是另一方面的事。”

    提前申请毕业可以，修足学分、通过考试。

    学分不足的前提下提前申请毕业也可以，通过科大校长、学院教授等权威人士的考验就行。

    “你剩下复习的时间也不多，这样，反正光源系统设备已经成功验收，接下来的设备完善、光源优化由我来完成，你就专心复习怎么样？”程院长建议道。